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中圖儀器SuperViewW1光學(xué)3d輪廓儀一體化操作軟件，測量與分析同界面操作，預(yù)先配置好分析參數(shù)，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)，實現(xiàn)快速批量測量。

在測量大尺寸樣品時，中圖3d輪廓檢測儀器的拼接功能，能將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致，可達(dá)0.1um。

中圖儀器3d光學(xué)輪廓儀設(shè)備可以達(dá)到納米級的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)?？蓮V泛應(yīng)用于汽車零部件、半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、微納材料及制造、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、高?？蒲性核阮I(lǐng)域中。

中圖儀器3D粗糙度輪廓儀支持拼接功能，將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致，可達(dá)0.1um。

SuperViewW1 玻璃表面粗糙度測量儀數(shù)秒內(nèi)即可獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數(shù)。其載物臺XY行程為140*110mm（可擴(kuò)展），Z向測量范圍可達(dá)10mm，在測量大尺寸的樣品時，可以選擇拼接測量（拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致，可達(dá)0.1um）。

SJ5700S表面粗糙度測量儀器能實現(xiàn)對各種工件表面粗糙度的測量和分析。具有較大的測量量程（X軸200mm，Z軸0-450mm,Z0軸±20µm~±400µm），一次測量，可分析工件不同區(qū)域粗糙度，提高測量效率。