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VT6000太陽能電池片形貌共聚焦測量顯微鏡結(jié)合精密縱向掃描，在樣品表面進(jìn)行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點，從而重建出3D真彩圖像進(jìn)行分析?？蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器NS系列臺階厚度儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢。

VT6000高分辨率顯微鏡共聚焦光學(xué)系統(tǒng)以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法，共同組成高精度測量系統(tǒng)。能在樣品表面進(jìn)行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點并重建出3D真彩圖像，從而進(jìn)行分析。

中圖儀器NS系列薄膜厚度臺階測量儀集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。它主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。

中圖儀器SuperViewW納米級高精度白光干涉測厚儀的復(fù)合型EPSI重建算法，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下，只需要確定起點和終點，即可自動掃描，重建其超光滑的表面區(qū)域，不見一絲重疊縫隙。

NS系列接觸式臺階儀測膜厚儀超精密接觸式測量微觀輪廓，主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度，可以準(zhǔn)確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。