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接觸式臺階儀

產(chǎn)品簡介

中圖儀器NS系列接觸式臺階儀是利用光學(xué)干涉原理,可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。是一種接觸式表面形貌測量儀器。

產(chǎn)品型號:NS200
更新時間:2024-07-18
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1046
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中圖儀器NS系列接觸式臺階儀是利用光學(xué)干涉原理,可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。是一種接觸式表面形貌測量儀器。

接觸式臺階儀

NS系列臺階儀廣泛應(yīng)用于:大學(xué)、研究實驗室和研究所、半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)領(lǐng)域。如在太陽能光伏行業(yè)中,通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點。它可以測量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。


產(chǎn)品特性

1.出色的重復(fù)性和再現(xiàn)性,滿足被測件測量精度要求

線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13um量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。

2.超微力恒力傳感器:(1-50)mg可調(diào)

測力恒定可調(diào),以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設(shè)計和微小電磁力控制,實現(xiàn)無接觸損傷的精準接觸式測量。

3.超平掃描平臺

系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌,杜絕運動中的細微抖動,提高掃描精度,真實反映工件微小形貌。

4.頂視光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng),5MP超高分辨率彩色相機

5.全自動XY載物臺, Z軸自動升降、360°全自動θ轉(zhuǎn)臺

6.強大的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)

臺階儀軟件包含多個模塊,為對不同被測件的高度測量及分析評價提供充分支持。

接觸式臺階儀

NS系列接觸式臺階儀對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應(yīng)面廣,數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。


典型應(yīng)用

接觸式臺階儀


部分技術(shù)參數(shù)

型號NS200
測量技術(shù)探針式表面輪廓測量技術(shù)
探針傳感器超低慣量,LVDC傳感器
平臺移動范圍X/Y電動X/Y(150mm*150mm)(可手動校平)
樣品R-θ載物臺電動,360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)
單次掃描長度55mm
樣品厚度
50mm
載物臺晶圓尺寸150mm(6吋),200mm(8吋)
尺寸(L×W×H)mm640*626*534
重量40kg
儀器電源100-240 VAC,50/60 Hz,200W

使用環(huán)境

相對濕度:濕度 (無凝結(jié))30-40% RH

溫度:16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)

地面振動:6.35μm/s(1-100Hz)

音頻噪音:≤80dB

空氣層流:≤0.508 m/s(向下流動)

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。

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